Loại

SURFCOM CREST

Dải đo

Trục Z (Dọc)

cánh tay 13 mm/50 mm,  cánh tay 26 mm/100 mm

Trục X (Ngang)

200 mm

Độ chính xác

Độ chính xác trục Z (Dọc)

±(0.2 + {H}/1000) μm (H: chiều cao đo được bằng mm)

Độ phân giải

cánh tay 0.31 nm/50 mm

Độ chính xác trục X (Ngang)

±(0.2 + L/1000) μm (L: chiều dài đo được bằng mm)

Độ phân giải

0.54 nm

Độ chính xác độ thẳng

0.05+3 L/10000 μm (L: chiều dài đo được bằng mm)

Độ chính xác của hệ thống

Độ ồn hệ thống

Ra ≤ 2 nm/0.4 mm

Rz ≤ 10 nm/0.4 mm

Lỗi biểu mẫu

Pt ≤ 0.1 μm (ϕ 30 mm hoặc nhỏ hơn)

Sai số tối đa cho phép

Đo bán kính

≤± 1.0 μm (ϕ30 mm hoặc nhỏ hơn)

Đo khoảng cách

≤±(1 + L/150) μm, (L: chiều dài đo được bằng mm)

Đo góc

≤±0.5 phút (-45 – +45 độ)

Phương pháp cảm biến

Trục Z (Dọc)

Giao thoa kế laser loại đường dẫn quang có độ ổn định cao

Trục X (Ngang)

Thang đo nhiễu xạ quang học

Tốc độ truyền động

Tốc độ lên/xuống của trục (Trục Z)

Tới 200 mm/s

Tốc độ đo của đơn vị truyền động (Trục X)

0.03 đến 3 mm/s (trong quá trình đo độ nhám), 0.03 đến 20 mm/s (trong quá trình đo biên dạng)

Tốc độ di chuyển của đơn vị truyền động (Trục X)

0.02 đến 60 mm/s

Độ nghiêng đơn vị truyền động

±45° (kiểu T)

Bộ phận cảm biến

Đầu đo

Có thể thay thế

Lực đo

0.75 mN

Bán kính đầu đo

2 μmR phụ kiện tiêu chuẩn (cánh tay 50 mm)

Chất liệu đầu đo

Kim cương

Chức năng

Chức năng thu lại

Kích thước và trọng lượng

Nguồn cấp

AC một pha 100 V đến 240 V ± 10%, 50 Hz/60 Hz

Nguồn cấp không khí

Áp suất cung cấp: 0.45 đến 0.7 MPa; áp suất làm việc: 0.4 MPa; khối lượng tiêu thụ không khí tối đa: 8 L/phút

Kích thước cài đặt (D x R x C)

1405 mm x 1050 mm x 1851 mm

Trọng lượng

700 kg