Thiết bị đo kết cấu bề mặt tích hợp biên dạng SURFCOM 2000DX3/SD3

Loại

SURFCOM 2000DX3/SD3

-12

-13

-14

-15

-22

-23

-24

-25

Dải đo

Trục Z (Dọc)

5 mm/Cánh tay tiêu chuẩn, 10 mm/Cánh tay 2 X

Trục X (Ngang)

100 mm

200 mm

Độ chính xác

Trục Z (Dọc)

±(2.5 + {2H}/100) μm (H: chiều cao đo được bằng mm)

Độ phân giải

Dải 1.0 nm/0.05 mm, 4 nm/0.2 mm, 10 nm/0.5 mm,

20 nm/1 mm, 40 nm/2 mm, 100 nm/5 mm

Trục X (Ngang)

±(1.0 + L/100) μm (L: chiều dài đo bằng mm)

Độ phân giải

0.016 μm

Độ chính xác độ thẳng

(0.05 + L/1000) μm (L: chiều dài đo bằng mm)

Phương pháp cảm biến

Trục Z (Dọc)

Điện cảm vi sai

Trục X (Ngang)

Thang đo tuyến tính

Tốc độ

Tốc độ lên/xuống của trục (Trục Z)

10 mm/s

Tốc độ đo (Trục X)

0.03 mm/s đến 20 mm/s

Tốc độ di chuyển

Tối đa 60 mm/s

Đầu dò

Đầu đo

Chức năng có thể thay thế và giảm bớt bước (ngắn đi)

Bán kính đầu đo (chất liệu đầu đo), lực đo

2 μmR (kim cương hình nón 60°) 0.75 mN, 25 μmR (cacbua hình nón 24°) 5 mN. Mỗi đầu đo được trang bị theo tiêu chuẩn

Phạm vi hoạt động

Theo dõi bước điều khiển

100 mm

200 mm

Bước lên/xuống trục

250 mm

450 mm

650mm

250 mm

450 mm

650 mm

Bàn đá granit

Kích thước

600 x 317 mm

1000 x 450 mm

600 x 317 mm

1000 x 450 mm

Tải trọng cho phép

37 kg

28 kg

93 kg

84 kg

31 kg

22 kg

87 kg

78 kg

Khác

Kích thước cài đặt

Dài

1250 mm

1650 mm

1250 mm

1650 mm

Rộng

800 mm

900 mm

800 mm

900 mm

Cao

1480 mm

1680 mm

1880 mm

1480 mm

1680 mm

1880 mm

Trọng lượng

225 kg

235 kg

420 kg

430 kg

230 kg

240 kg

425 kg

435 kg

Nguồn cấp, tần số, tiêu thụ

AC một pha 100 V ± 10% (cần nối đất), 50 Hz / 60 Hz, 670 VA