Mã đặt hàng

SURFCOM 1400G

-11

-12

-13

-14

-21

-22

-23

-24

Dải đo

Trục Z (dọc)

800 μm

Trục X (ngang)

100 mm

200 mm

Độ chính xác

Dải đo

Dải 800 μm đến 25 μm (dải 6.4 μm)

Độ phân giải

0.02 μm đến 0.0004 μm (0.0001 μm)

Độ chính xác trục Z (Dọc)

±(1 + 2L/100) μm (L: chiều dài đo được bằng mm)

Độ phân giải

0.1 μm

Trình điều khiển theo dõi

Độ chính xác độ thẳng

0.05 + 1.5L/1000 μm (L: chiều dài đo được bằng mm)

Phương pháp cảm biến

Thang đo sọc gợn sóng Moire

Thang đo tuyến tính

Tốc độ đo

0.03, 0.06, 0.15, 0.3, 0.6, 1.5, 3, 6 mm/s (8 tốc độ)

Tốc độ trục lên/xuống (Trục Z)

–

10 mm/s (3 mm/s)

–

10 mm/s (3 mm/s)

Bộ cảm biến

Phương pháp cảm biến

Điện cảm vi sai

Đo độ nhám

Đầu dò, lực đo

Có thể thay thế, 0.75 mN

Bán kính đầu dò (vật liệu)

Độ nhám: 2 μmR (kim cương hình nón 60°); Bề mặt: 800 μmR (đầu bi ruby); Mỗi đầu đo được trang bị theo tiêu chuẩn

Phạm vi hoạt động

Bước trình điều khiển theo dõi

100 mm

200 mm

Bước lên/ xuống trục

250 mm

450 mm

250 mm

450 mm

Bàn đá granit

Kích thước

600 x 317 mm

1000 x 450 mm

600 x 317 mm

1000 x 450 mm

Tải trọng cho phép

Sử dụng bàn chống rung để bàn (E-VS-S57B/S58B)

48 kg

42 kg

33 kg

–

43 kg

37 kg

28 kg

–

Sử dụng bàn chống rung để bàn kích thước lớn (E-VS-S45A)

50 kg

40 kg

30 kg

98 kg

50 kg

40 kg

30 kg

93 kg

Sử dụng bàn chống rung (E-VS-R16B)

50 kg

40 kg

30 kg

48 kg

50 kg

40 kg

30 kg

43 kg

Sử dụng bàn chống rung (E-VS-R21B)

50 kg

40 kg

30 kg

100 kg

50 kg

40 kg

30 kg

100 kg

Khác

Kích thước cài đặt

Rộng

2000 mm

2300 mm

2000 mm

2300 mm

Sâu

1000 mm

Cao

1700 mm

1900 mm

1700 mm

1900 mm

Khối lượng

115 kg

120 kg

130 kg

235 kg

120 kg

125 kg

135 kg

240 kg

Nguồn cấp, tần số, tiêu thụ

AC một pha 100 V ± 10% (cần nối đất), 50 Hz / 60 Hz, 710 VA