Loại

SURFCOM 1910DX3/SD3

-12

-13

-14

-15

-22

-23

-24

-25

Dải đo

Trục Z (Dọc)

50 mm

Trục X (Ngang)

100 mm

200 mm

Độ chính xác

Cảm biến độ nhám

Độ phân giải

Dải 0.01 μm/1000 μm đến 0.0001 μm/6.4 μm

Cảm biến đường viền

Độ chính xác trục Z (Dọc)

±(1.8 + {2H}/100) μm (H: chiều cao đo được bằng mm)

Độ phân giải

0.1 μm/toàn dải

Trình điều khiển theo dõi độ nhám

Độ phân giải trục X

0.04 μm hoặc 32000 điểm (300000 điểm thu nhận dữ liệu)

Trình điều khiển theo dõi đường viền

Độ chính xác trục X (Ngang)

±(1.0 + L/100) μm (L: chiều dài đo được bằng mm), Đo bước răng: 0.1 μm phút

Độ phân giải

0.016 μm

Độ chính xác độ thẳng

Hệ thống nhám: (0.05 + L/1000) μm (L: chiều dài đo được bằng mm)

Hệ thống đường viền: 1 μm/100 mm, 2 μm/200 mm

Phương pháp cảm biến

Trục X (Ngang)

Thang đo tuyến tính

Trục Z (dọc)

Cảm biến độ nhám

Điện cảm vi sai

Cảm biến đường viền

Thang đo nhiễu xạ quang học laser

Tốc độ

Tốc độ lên/xuống của trục (Trục Z)

10 mm/s

Tốc độ đo (Trục X)

0.03 mm/s đến 20 mm/s

Tốc độ di chuyển (Trục X)

Tối đa 60 mm/s

Bộ cảm biến

Độ nhám

Đầu đo, lực đo

Có thể thay thế, 0.75 mN

Bán kính đầu đo (chất liệu đầu đo)

2 μmR (kim cương hình nón 60°), một mảnh được trang bị theo tiêu chuẩn

Đường viền

Đầu đo, lực đo

Có thể thay thế, 10mN đến 30 mN hoặc thấp hơn, và giảm bớt bước (ngắn đi) 

Bán kính đầu đo (chất liệu đầu đo)

25 μmR (cacbua hình nón 24°), hai mảnh được trang bị theo tiêu chuẩn

Hướng đo, vị trí

Các hướng kéo/đẩy và lên/xuống, góc tối đa: 77°

Phạm vi hoạt động

Theo dõi hành trình trình điều khiển

100 mm

200 mm

Bước lên/xuống trục

226 mm

426 mm

626 mm

226 mm

426 mm

626 mm

Bàn đá granit

Kích thước

600 x 317 mm

1000 x 450 mm

600 x 317 mm

1000 x 450 mm

Tải trọng cho phép

37 kg

28 kg

93 kg

84 kg

31 kg

22 kg

87 kg

78 kg

Khác

Kích thước cài đặt

Rộng

1250 mm

1650 mm

1250 mm

1650 mm

Sâu

800 mm

900 mm

800 mm

900 mm

Cao

1480 mm

1680 mm

1880 mm

1480 mm

1680 mm

1880 mm

Khối lượng

225 kg

235 kg

420 kg

430 kg

230 kg

240 kg

425 kg

435 kg

Nguồn cấp, tần số, tiêu thụ

AC một pha 100 V ± 10% (cần nối đất), 50 Hz / 60 Hz, 670 VA