- Hệ thống:
- Kỹ thuật đo lường: Giao thoa kế quét mạch kết hợp 3D không tiếp xúc
- Scanner: Động cơ piezo vòng kín, với các cảm biến điện dung tuyến tính cao
- Vật kính:
- Độ phóng đại 1.0X – 100X
- Khoảng làm việc tiêu chuẩn hoặc lớn
- Gá đỡ vật kính: Chuôi đuôi én vật kính đơn
- Trường zoom ống kính: 0.5X, 1.0X, 2.0X
- Trường nhìn: 0.04 đến 16 mm, Tích hợp khẩu trường cho các khu vực lớn hơn
- Chiếu sáng: Đèn LED ánh sáng trắng đơn có tuổi thọ cao, hình ảnh đồng nhất và hiệu quả cao
- Mảng đo lường: 1024 x 1024, 512 x 512, 1024 x 160
- Lấy nét: Bằng tay hoặc tự động
- Trục Z (lấy nét): dải đo 100 mm với độ phân giải 0.1 µm
- Tải trọng thực của bàn đo: tối đa 150 kg
- Hệ điều hành: PC i7 với màn hình hiển thị 1080P
- Phần mềm: ZYGO Mx
- Tính năng:
- Dải scan dọc: 150 µm, có thể mở rộng đến 20 mm
- Độ lặp lại địa hình bề mặt: < 0.12 nm
- Độ phân giải: 0.30 µm sử dụng ống kính 100X 0.85NA
- Tỉ lệ scan dữ liệu: ≤96 µm/giây, người dùng có thể lựa chọn
- Điểm dữ liệu tối đa: 1,048,576
- Độ lặp lại RMS: < 0.01 nm RMSσ
- Chiều cao bước:
- Độ chính xác: ≤ 0.75%
- Độ lặp lại: ≤0.1% @ 1σ
- Tốc độ tối đa của bàn đo: 250 mm/giây
- Sự tăng tốc tối đa của bàn đo: 3 m/s^2
- Yêu cầu môi trường:
- Nhiệt độ: 15 đến 30°C với tỉ lệ thay đổi <1.0°C mỗi 15 phút
- Tỉ lệ thay đổi nhiệt độ: <0.25°C mỗi 15 min
- Độ ẩm tương đối: 5 đến 95%, không ngưng tụ
- Cách ly rung động: VC-C, yêu cầu đối với tần số rung động trong phạm vi từ 1 Hz đến 120 Hz
- Âm thanh: NC30
- Các yêu cầu tiện ích:
- ĐIện áp đầu vào: 100 đến 240 VAC, 50/60 Hz
- Khí nén: 60 đến 80 psi (4.1 đến 5.5 bar)
- Kích thước:
- Kích thước không có vỏ hộp: 159 x 130 x 147 cm
- Kích thước có vỏ hộp: 166 x 140 x 164 cm
- Khối lượng:
- Khối lượng không có vỏ hộp: 1830 kg
- Khối lượng có vỏ hộp: 1955 kg
Hãy là người đầu tiên nhận xét “Máy đo độ nhám Zygo Photonics APM650”
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.