Thông số kỹ thuật

Bàn xoay

• Độ xoay chính xác (hướng tâm): {(0.02+3.5H/10000)µm}
• Độ xoay chính xác (quanh trục): {(0.02+3.5R/10000)µm}

H: Chiều cao lấy mẫu (mm), R: Bán kính lấy mẫu (mm)

• Tốc độ quay:

  2, 4, 6, 10rpm

• Đường kính bàn quay:

  ø9.2" (235mm) với mã AS / AH
  ø 7.9" (200mm) với mã DS / DH

• Phạm vi định tâm:

  ±3mm (±5mm: với mã DS / DH)

• Phạm vi san bằng:

  ±1°

• Đường kính lấy mẫu tối đa: ø 11.8" (300mm)
• Đường kính phôi tối đa: ø22.8" (580mm)
• Trọng lượng phôi tối đa: 66 lbs (30kg)

Trục máy dọc (Trục Z)

• Hành trình dọc:

  11.8" (300mm) (22.8" (500mm): với mã AH/DH)

• Độ thẳng (λc2.5):

  0.10µm / 100mm, 0.15µm / 300mm
  (0.25µm / 500mm: với mã AH / DH)

• Độ song song với trục quay

  0.7µm / 300mm
  (1.2µm / 500mm: với mã AH / DH)

• Tốc độ định vị:

  Max. 50mm/s

• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s

• Chiều cao lấy mẫu tối đa:

  11.8" (300mm) (OD / ID) [22.8" (500mm): với mã AH / DH)

• Chiều sâu lấy mẫu tối đa:

  lớn hơn ø32: 85mm (với đầu đo tiêu chuẩn)
  lớn hơn ø7: 50mm (với đầu đo tiêu chuẩn)

Trục ngang (Trục X))

• Hành trình ngang:

  6.9" (175mm) (đã bao gồm phần nhô ra 1" (25mm) trung tâm xoay của bàn xoay)

• Độ thẳng (λc2.5): 0.7µm / 150mm
  Độ vuông với trục xoay: 1.0µm / 150mm
• Tốc độ định vị:

  Max. 30mm/s với cần điều khiển

• Tốc độ đo:

  0.5, 1, 2, 5mm/s

Đầu dò và đầu đo

• Dải đo

  ±400µm/±40µm/±4µm
  (±5mm: phạm vi theo dõi)

• Lực đo

  10mN~50mN (trong 5 bước)

• Đầu đo tiêu chuẩn:

  12AAL021,đầu bi cacbua, ø1.6mm

• Hướng đo: Hai hướng
• Điều chỉnh góc đầu đo: ±45° (với vạch chia)

Thiết bị phân tích dữ liệu:

• Phần mềm phân tích:

  Roundpak

• Loại bộ lọc:
• 2CRPC-75%, 2CRPC-50%, 2CR-75% (không có giai đoạn sửa chữa), 2CR-50% (không có giai đoạn sửa chữa), Gaussian, bộ lọc OFF
• Giá trị điểm ngắt;
• 15upr, 50upr, 150upr, 500upr, 1500upr,15-150upr, 15-500upr, 15-1500upr, 50-500upr, 50-1500upr, 150-1500upr, Thiết lập bằng tay
• Vòng tròn tham chiếu để đánh giá độ tròn:
• LSC, MZC, MIC, MCC

Áp lực khí:

• Áp lực khí:

  390kPa (4kgf/cm2)

• Mức tiêu thụ khí:

  30L/min

• Nguồn cấp

  100V AC – 240V AC, 50/60Hz

Kích thước (W x D x H):

:26.3 x 20 x 35.4"
(667 x 510 x 900mm)
26.3 x 20 x 43.3"
(667 x 510 x 1100mm: với mã AH / DH)

• Khối lượng:

  396 lbs (180kg)
  440 lbs (200kg) với mã AH / DH

In dữ liệu

Giá đỡ thiết bị dò trượt (Tùy chọn) 12AAL090

Khoảng cách trượt: 4,4 "(112mm)

12AAF203

Đơn vị: mm

12AAF204